其他名称: 四氟甲烷、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride
分子式: CF4
UN No. UN1956
CAS No. 75-73-0
产品纯度:99.99~99.999%
包装说明:47L DOT钢瓶，钢瓶尺寸23 × 130cm，316L SS材质阀门，阀门型号CGA660；40L高压无缝钢瓶，净重30kg/瓶，瓶头阀是铜质阀门是QF-2，出口螺纹是G5/8
产品说明
四氟化碳在常温常压下是无色无臭有轻微醚味，较易挥发的不燃烧的压缩气体，是化学性质非常稳定的有机物。充装于四氟化碳钢瓶中，饱和蒸汽压约压力2000 psig。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在硅和二氧化硅体系中，采用CF4-H2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性。在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于四氟化碳的化学稳定性，四氟化碳可用于金属冶炼，例如：铜、不锈钢，碳钢、铝、蒙乃尔等；还可用于塑料行业；如：合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。
产品应用
用于电子器件表面清晰、印刷电路生产中的去污剂
CF4是良好的电气绝缘和灭弧材料，可作为变压器、电力开关的绝缘气体
用于微电子工业的等离子蚀刻
用于太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态
用于金属冶炼，例如：铜、不锈钢，碳钢、铝、蒙乃尔等
用于塑料行业，如：合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯
由于四氟化碳的溶氧性很好，所以被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气
高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻
注意事项
四氟化碳是不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过60℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃或可燃物分开存放。验收时要注意品名，注意验瓶日期，先进仓的先发用。搬运四氟化碳时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。泄漏时，应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
四氟化碳的物理化学性质
分子量：88.005
熔点(101.325kPa)： -186.8℃
沸点(101.325kPa)： -128.0℃
液体密度(-127.94℃，101.325kPa)：1603kg/m3
气体密度(0℃，101.325kPa)： 3.946 kg/m3
相对密度(气体，0℃，101.325kPa)： 3.05
气液容积比(15℃，100kPa)：436 L/L
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2747m3/kg
临界温度： -45.6℃
临界压力： 3739kPa
临界密度： 629kg/m3
压缩系数：
分子量：88.005
熔点(101.325kPa)： -186.8℃
沸点(101.325kPa)： -128.0℃
液体密度(-127.94℃，101.325kPa)：1603kg/m3
气体密度(0℃，101.325kPa)： 3.946 kg/m3
相对密度(气体，0℃，101.325kPa)： 3.05
气液容积比(15℃，100kPa)：436 L/L
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2747m3/kg
临界温度： -45.6℃
临界压力： 3739kPa
临界密度： 629kg/m3
压缩系数：
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温度℃ |
压缩系数
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100kPa
|
1000kPa
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5000kPa
|
10000kPa
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1 5
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0.9981
|
0.9763
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0.7832
|
0.6058
|
|
50
|
0.9988
|
0.9866
|
0.8717
|
0.7637
|
熔化热(-186.8℃)： 7.609 kJ/kg
气化热(-127.94℃，101.325kPa)： 135.65 kJ/kg
比热容(气体，25℃，101.325kPa)：Cp=696 J/(kg·K)
Cv=602J/(kg·K)
比热比(气体，25℃，101.325kPa)：Cp/Cv=1.157
蒸气压(-180.65 C)：0.20 kPa
(-120℃)： 165 kPa
(-50℃)： 3220 kPa
粘度(101.325kPa，0℃，气体)：0.0161 mPa·S
(-60.0℃，液体)：0.170 mPa·S
表面张力(-80.0℃)： 6.4 mN/m
导热系数(101.325kPa，0℃)：0.01503 w/(m·K)
(液体，-60.0℃)：0.07196 w/(m·K)
折射率(-73℃)： 1.151
四氟化碳在常温常压下为无色无臭有轻微醚味的气体。空气中不燃烧，是比较稳定的无毒物质。但是在高温时，或与可燃气体一同燃烧时，分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能与二氧化碳形成羰基氟。微溶于水，在25℃，101.325kPa时，水中溶解度为0.0015%(重量)。有轻微的水解作用。
